WID150R主要是被设计用于读取6英寸晶圆的ID。所读取的晶圆ID会直接储存于PC或上传至客户的服务器里。该系统适用于6英寸SEMI标准开放式晶圆匣,并配有内置的可编程晶圆定向平面对准,以确保在扫描ID前晶圆处于正确的定向。此外,WID150R配备触摸面板PC和GUI定制。易于使用的软件系统界面帮助用户轻松进行操作。
晶圆批量式ID读取器系统 -WID150
- 专门为6英寸晶圆设计
- 1个开放式晶圆匣(基于提供的样本晶圆匣)
- 晶圆匣方向传感器(检测晶圆匣的反向放置),晶圆匣状态和晶圆匣倾斜传感器。
- 匣内晶圆插槽映射功能
- 配备晶圆定向平面对位机构
- 用于各种晶圆ID位置的可编程晶圆旋转
- 批量晶圆ID读取(正背面以及定向平面区域的晶圆ID)
- 菜单设置、对位和晶圆ID读取
- SECS/GEM通信工具(可选)