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WID150R主要是被设计用于读取6英寸晶圆的ID。所读取的晶圆ID会直接储存于PC或上传至客户的服务器里。该系统适用于6英寸SEMI标准开放式晶圆匣,并配有内置的可编程晶圆定向平面对准,以确保在扫描ID前晶圆处于正确的定向。此外,WID150R配备触摸面板PC和GUI定制。易于使用的软件系统界面帮助用户轻松进行操作。

晶圆批量式ID读取器系统 -WID150

    • 专门为6英寸晶圆设计
    • 1个开放式晶圆匣(基于提供的样本晶圆匣)
    • 晶圆匣方向传感器(检测晶圆匣的反向放置),晶圆匣状态和晶圆匣倾斜传感器。
    • 匣内晶圆插槽映射功能
    • 配备晶圆定向平面对位机构
    • 用于各种晶圆ID位置的可编程晶圆旋转
    • 批量晶圆ID读取(正背面以及定向平面区域的晶圆ID)
    • 菜单设置、对位和晶圆ID读取
    • SECS/GEM通信工具(可选)
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©2023 by QES Technology (Shanghai) Co., Ltd

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