WIS1100被设计用于检测(目检)4英寸和6英寸的晶圆尺寸，用于半导体行业的光学检查、晶圆图和瑕疪分类管理。标准设计配有一个标准装载端口，可容纳4英寸和6英寸SEMI标准开放式晶圆匣。该系统配有高性能的前后晶圆宏观检测系统，包括微观检测系统。此外，微观检测系统集成了尼康Eclipse L200N和5个电动物镜。晶圆对准器是为了确保晶圆定位的准确性和用于晶圆ID OCR读取。另外，可选择升级喷墨打标系统，用于标记在已检测的瑕疵芯片。
(晶圆)光学检测系统 - WIS1100
- 专门为4英寸和 6英寸晶圆设计
- 微观和宏观检查（包括背面宏观检查）
- 明视野、暗视野和NIC模式
- 自动装载器和显微镜
- 带有5个物镜的电动换镜旋座（2.5x，5x，10x，20x，50x）
- 配备晶圆离子中和器和可编程XY工作台
- 配备晶圆对准器和晶圆映射
- 喷墨打标机进行瑕疪标记(可升级)
- 配备菜单控制模块、晶圆图、匣式图和显微镜组件控制的软件用户界面。
- TCP-IP和RS232数据接口/SECS/GEM数据通信（可升级）
